微纳加工
深圳微佳半导体科技有限公司拥有强大的MEMS设计与加工实力,具备成熟的光刻、镀膜、刻蚀、离子注入、晶圆电镀及凸块、晶圆键合、器件封装、掩膜版制作、测试等全套微纳加工能力。
特色服务
专业高效的特色项目加工服务:光栅及超级结构加工、柔性电极加工、硅光波导、氮化硅光波导、玻璃芯片加工、铌酸锂波导加工,以及深硅刻蚀
产品中心
提供优质的MEMS及微纳产品:空腔绝缘体上硅C SOI、氮化硅光波导晶圆、铌酸锂光子芯片晶圆、压电MEMS晶圆