微纳加工
MEMS加工、特殊工艺开发、测试服务、快速制版
检测
工业级、车规级高可靠性封装
纳米压印
常规工艺
特色工艺服务

关于我们
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ABOUT US
深圳微佳半导体科技有限公司是一家专业的MEMS材料生产商和MEMS技术服务供应商,提供材料主要有MEMS专用空腔绝缘体上硅(C-SOI)、压电薄膜晶圆、氮化硅光波导晶圆、铌酸锂光子芯片晶圆等。并提供微纳加工代工和定制技术服务。为企业、院校提供微纳加工、封装、测试全流程服务。我们支持4/6/8英寸晶圆的微纳加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。覆盖微纳器件、传感器、光电子器件、微流控、微纳光学,光子集成电路,生物医疗器件等领域。提供步进式光刻、DUV光刻、电子束光刻、激光直写、薄膜工艺、深硅刻蚀、玻璃芯片纳米级刻蚀、TSV及TV封装、晶圆键合等。

微纳加工

深圳微佳半导体科技有限公司拥有强大的MEMS设计与加工实力,具备成熟的光刻、镀膜、刻蚀、离子注入、晶圆电镀及凸块、晶圆键合、器件封装、掩膜版制作、测试等全套微纳加工能力。

特色服务

专业高效的特色项目加工服务:光栅及超级结构加工、柔性电极加工、硅光波导、氮化硅光波导、玻璃芯片加工、铌酸锂波导加工,以及深硅刻蚀


产品中心

提供优质的MEMS及微纳产品:空腔绝缘体上硅C SOI、氮化硅光波导晶圆、铌酸锂光子芯片晶圆、压电MEMS晶圆


我们的优势
精密的生产设备
EGV光刻机、晶圆键合机、深硅刻蚀机等等
国内顶级专家团队
十多年MEMS研究经验,工艺精湛,加工质量更优,工期更短。
尊重客户隐私
客户信息按照客户的要求严格保密
高效服务
一对一专家级工艺评估、设计,让实验更科学,更高效。
合作企业院校
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