关于我们
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ABOUT US
深圳微佳半导体科技有限公司是一家专业的MEMS材料生产商和MEMS技术服务供应商，提供材料主要有MEMS专用空腔绝缘体上硅（C-SOI）、压电薄膜晶圆、氮化硅光波导晶圆、铌酸锂光子芯片晶圆等。并提供微纳加工代工和定制技术服务。为企业、院校提供微纳加工、封装、测试全流程服务。我们支持4/6/8英寸晶圆的微纳加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。覆盖微纳器件、传感器、光电子器件、微流控、微纳光学，光子集成电路，生物医疗器件等领域。提供步进式光刻、DUV光刻、电子束光刻、激光直写、薄膜工艺、深硅刻蚀、玻璃芯片纳米级刻蚀、TSV及TV封装、晶圆键合等。

微纳加工

深圳微佳半导体科技有限公司拥有强大的MEMS设计与加工实力，具备成熟的光刻、镀膜、刻蚀、离子注入、晶圆电镀及凸块、晶圆键合、器件封装、掩膜版制作、测试等全套微纳加工能力。

特色服务

专业高效的特色项目加工服务：光栅及超级结构加工、柔性电极加工、硅光波导、氮化硅光波导、铌酸锂波导加工，以及深硅刻蚀

产品中心

提供优质的MEMS及微纳产品：空腔绝缘体上硅C SOI、氮化硅光波导晶圆、铌酸锂光子芯片晶圆、压电MEMS晶圆

为什么选择我们？
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WHY CHOOSE US
公司优势
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公司核心研发团队16人，其中博士团队6人分别在MEMS传感器、压电MEMS以及材料等领域有深入研究，可提供全方位的技术咨询，完备的整体解决方案设计。
公司拥有各种微纳加工设备：步进式光刻机、EVG光刻机、电子束曝光机、磁控溅射、LPCVD、PECVD、电子束蒸发、晶圆键合机、深硅刻蚀机、离子束刻蚀机、电镀台、台阶仪等等。
精密的生产设备
EGV光刻机、晶圆键合机、深硅刻蚀机、低压化学气体沉积（LPCVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、金属磁控溅射、离子注入机等等。
尊重客户隐私
全流程管理，客户信息按照客户的要求严格保密，流片数据全过程收集保存，内网加密系统，客户技术资料严格保护。
国内顶级专家团队
十多年MEMS研究经验，工艺精湛，加工质量更优，工期更短。
高效服务
一对一专家级工艺评估、设计，让实验更科学，更高效。公司可为客户提供更快捷的微纳代工服务，最快可实现24小时交付，可承接全流程器件仿真、设计、流片、封装，可为客户产品保驾护航。