TSV和TGV封装
SILICON NITRIDE OPTICAL WAVEGUIDE
电子束光刻加工光波导
可以实现100nm以内波导线宽
同时我们可以加工100nm-800nm厚度的薄膜，同时可以通过LPCVD和PECVD两种方式沉积Si02包层,后道的晶圆切割，端面抛光
6寸150nmDUV流片线
性价比高，一次流片可以出一个晶圆；
目前成熟制程厚度200nm和400nmSi3N4薄膜厚度流片
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玻璃TGV
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