CSOI晶圆（Cavity-SOI）对MEMS器件可大幅減少成本。空腔SOI晶圆解决方案，提高了MEMS器件的质量和可靠性，实现三维结构的精准定义，且无须额外的空腔释放工艺。
提供各种MEMS器件专用空腔SOI晶圆，包括应用于惯性传感器（陀螺仪、加速度计、IMU等）、压力传感器、声学传感器、喷墨头、计时器、射频滤波器、谐振器和微流体等，能够满足客户各种规格的灵活定制空腔SOI晶圆需求。
